產品描述

隨着用於存儲大量數據的表面幾何空間急劇減少，微電子製造商的顆粒監測變得越來越重要。MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器的設計，滿足半導體潔淨室監控、工藝基準確定和顆粒故障解決的獨特需要。

便攜式空氣顆粒計數器適用於 ISO 14464 中 ISO 1 和 ISO 2 環境部分潔淨室驗証。 

• 0.1 微米的靈敏度（範圍 0.1 μm-1.0 μm）
• 順序采樣與可選收集器
• 排氣扇在儀器運行過程中不工作，以減少顆粒的影響
• 簡化了區域、位置和運行參數配置和複製的接口